隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。
ADIXEN真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。真空泵除主要特性，極限壓力，流量和抽氣速率之外，尚有一些名詞術(shù)語表達泵的有關(guān)性能和參數(shù)。
1、啟動壓力：泵無損壞啟動并有抽氣作用時的壓力。
2、前級壓力：排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。
3、最大前級壓力：超過它能使泵損壞的前級壓力。
4、最大工作壓力：對應(yīng)最大流量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
5、壓縮比：泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
6、何氏系數(shù)：泵抽氣通道面積上的實際抽氣速率與該處按分子瀉流計算的理論抽氣速率之比。
7、抽氣系數(shù)：泵的實際抽氣速率與泵入口面積按分子瀉流計算的理論抽氣速率之比。
8、返流率：泵在規(guī)定條件下工作時，與抽氣方向相反而通過泵入口的單位面積、單位時間的泵液的質(zhì)量流率。
9、水蒸氣允許量(單位:kg/h)：在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣的質(zhì)量流率。
10、最大允許水蒸氣入口壓力：在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓力。
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